BRUKER（Veeco）的NPFLEX 光学轮廓仪测量系统带来了前所未有的的测量能力和性能，在精密制造，大尺寸光学镜头，半导体等行业，实现更快的测量时间，提高产品质量，提高生产率。基于白光干涉干涉原理，这种非接触式测量系统提供了超越传统的接触式坐标测量仪（CMM）和探针式轮廓仪等测量技术的特点。这些好处包括三维（3D）图像，快速丰富的数据采集，更深入的了解部件的性能和功能。几十年的干涉技术和大样本的仪器设计专业知识的积累下，NPFLEX是第一个光学测量系统处理微宏功能，毫不费力地对各种大小不等的的样本进行精确测量
独特的形状和角度
■测量灵活性创新的设计，可容纳广泛多样的大小和形状的样品，可达13英寸身高
■开放性设计，自定义夹具，和可选的旋转头可以测量镜头无法到达的区域。
高密度，3D面的信息确定的结果。
■更多的数据，导致更好的决策，每个测量包含多个分析完整的表面信息
纳米级分辨率的细节透露，广泛应用于在太阳能电池，PDP面板，精密机械，大尺寸光学镜头的表面3D测量。
■干涉提供亚纳米级的垂直分辨率---0.1nm
■行业成熟的技术，确保统计的确定性
快速的数据采集
■最小的样品制备和测量设置tolerancesTHROUGHPUT和提高效率
■大视场的特点，比接触式测量技术表面信息更丰富
概念的测量解决方案，
通过生产在制造工艺的理解和控制每日的挑战，越来越多的公司开始衡量产品质量的表面纹理。表面光洁度的特点往往决定一个产品的性能，寿命。NPFLEX三维测量系统提供单一解决方案，表面测量的要求，在整个产品的生命周期，从最初的设计通过后期制作的故障排除不合格产品。
研究与发展
在R＆D实验室，需要很大的灵活性的能力来衡量样品的不同方面和范围的数据可以执行的分析。白光干涉技术的NPFLEX提供了一个三维的，非接触的方式测量几乎任何表面特征，同时提供可访问的对象是接触式探针或其他轮廓仪根本无法达到地区
生产过程控制和制造质量
精密的制造要求计的R＆R功能的计量工具，提供快速，可靠的量化数据，每天统计过程控制，以确保零件质量和性能。 NPFLEX提供更快的测量数据，大幅减少不确定性，和更严格的公差控制，比其它技术更具竞争力。
不合格产品检测分析
组件故障的调查是在提高零件制造的关键因素。纳米相结合能够运行多个分析，从单一的扫描分辨率，使制造商能够获得一种非接触式，3D数据集的领域。跨越多个不同的参数看整个画面，迅速提供了一个如何解决不合格产品检测分析方案。
灵活许多样品类型的表征
通常情况下，制造商不得不勉强接受的破坏性剖析产品，花费大量时间和浪费的过程测量感兴趣的特定表面。 NPFLEX已经旨在探讨广泛的样本大小和形状不同。
随着13英寸的超长工作距离目标以下的空间，有足够的空间和所有类型的固定装置。提供的自动化市场上的任何干涉的最活跃的工作空间，极高的样本，如一个完整的发动机缸体，需要更多的空间，可以轻松。开放式龙门桥的NPFLEX设计，无论从正面和背面都可以测量。开放式架构与Veeco的专利tip/tilt倾斜功能，理想的数值孔径的光学头提供较长的工作距离。这使得NPFLEX善于在深的沟，高纵横比的孔，或在成像高差大仍然可以分析样本。
稳定的测量基座
NPFLEX采用更为坚固的花岗岩基座，使系统能够承重高达200磅。桥龙门设计能抵抗地板的噪音干扰水平，提供更好的可重复的结果。Bruker（ 原Veeco）的最新创新，一个客观的碰撞缓解系统，保护从任何方向测量目标和样品。 NPFLEX样品提供最大的灵活性和环境的使用适用性，使精密制造商专注于他们的数据的影响而不是他们如何获得的信息。
纳米级分辨率的三维面信息
一旦表面足够的量化数据需要进行收集，得到更低不确定性。在许多大样本应用中，航空航天，汽车和医疗植入产业分析只有2D接触的计量工具，仅限于单一的数据线。二维扫描揭示了样本配置文件，但没有提供足够的信息，以了解样品的表面纹理完整的细节。NPFLEX系统采用白光干涉3D面信息收集亚纳米下在每一个像素的垂直分辨率。收集的数据不仅限于最后一个探头大小。 3D渲染大场的数据集，立即提供了完整结论。数据集也允许多种分析，包括点击按钮全套的报告参数，为客户提供超越单纯的信息---表面粗糙度。
更快速数据采集效率
NPFLEX三维测量系统提供灵活性不牺牲速度和高密度的数据。 “最小的样品制备和测量设置时间需要使制造商能够迅速转出的部分，或执行多个曲面测量不确定部分的形状。在不到15秒分析软件为您提供了有意义的数据。CCD自动移动，强度，和其他软件功能，节省宝贵的时间，允许运营商定制分析例程不影响数据的准确性的前提下制定特定的需求。NPFLEX提供灵活性，准确性和快速高精度的结果，提供一站式的测量解决方案，得到更严格的公差和更好的高端产品。
Bruker NPFLEX光学轮廓仪参数
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NPFLEX光学轮廓仪主机 |
NPFLEX™功能的非接触式技术，开放获取的样本装载和直观的分析软件来表征表面纹理，光洁度，粗糙度，弯度，坡度，和许多其他特征与亚纳米级精度。 NPFLEX提供最全面的计量平台，在精密制造，大尺寸光学镜头，半导体等行业，实现更快的测量时间，提高产品质量，提高生产率。 |
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镜头 |
长工作距镜头2.5×,1×，5×，10×
干涉物镜1.5×，2.5×，5×，10×，20×，50×，100×
透明膜测试系统
4位镜头转塔 |
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目镜 |
0.55×，0.75×，1×，1.5×，2× |
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测量阵列 |
最大640 × 480, |
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光源 |
长寿命白光和绿光LED光源 |
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样品尺寸 |
高最大350mm（自动样品台为249mm），长304mm，宽304mm |
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样品台荷载 |
50kg |
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气浮台荷载 |
100kg |
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光学附件 |
集成电脑控制的照明灯;闭环精密垂直扫描仪 |
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控制系统 |
DELL pc Ergotron®手臂，内置通过/失败的参数可选HDVSI，MATLAB®/ TCPIP，影片分析，光学分析和SureVision |
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垂直分辨率 |
<0.15nm |
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RMS分辨率 |
0.03nm |
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台阶高度 |
0.5%精度，<0.12%的重复性（1σ） |
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横向分辨率 |
0.1 to 13.2μm |
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极限光学分辨率 |
0.49μm |
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视场 |
可视区域 7.68 × 5.76mm max, 0.06 × 0.05mm min |
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尺寸 |
1717毫米（高）× 772毫米 （宽）× 813毫米（长） |
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认证 |
CE认证，NRTL，T - MARK，符合RoHS标准，ANSIB46.1兼容 |
